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化学蚀刻中常见的问题

2017-05-22 20:13:59 

化学蚀刻中常见的问题有:

1、 边缘轮廓线不清楚,这种情况是因为零件表面沾污,如手印、化学污染、氧化膜、防蚀层边缘不清晰等,还有就是蚀刻液浓度不在工艺规定范围内,这种情况下首先需要加强各工序管理,防止二次污染,在蚀刻之前对防蚀层检查要严格,其次分析调整蚀刻液各成分至工艺规定范围。

2、 粗糙的蚀刻表面,被蚀刻表面有沟槽、留痕及点蚀,其主要原因是蚀刻液中AI3+浓度太高,NaOH浓度太高或太低,蚀刻后酸洗后,漂洗不净,纠正的方法就是分析调整蚀刻液各成份浓度到工艺规定范围,加强酸洗后的水洗质量。

3、 形成凹坑主要是因为蚀刻液中AI3+浓度及NaOH浓度太高,处理的方法就是稀释蚀刻液,降低浓度。

化学蚀刻

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