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[鑫海森动态]鑫海森为你讲解高精度蚀刻技术：反应离子蚀刻2017年05月23日 10:45: 反应离子蚀刻技术是一种物理化学工艺过程。化学反应气体(自由基、离子)与待除去的铜箔反应。生成一种挥发性气体化合物，它很容易从此表面上抽吸掉。反应等离子蚀刻是有选择性的，优先与要去除的铜箔发生反应，但不与保护胶发生反应。反应离子蚀刻可以是全方位的(各向同性)，也可以是有方向性的(各向异性)，取决于使用的等离子条件。当然，在高精度的制造场合，我们选取的是其各向异性的特征。该蚀刻方式不仅蚀刻精度高，而且蚀刻速率快(每分钟蚀刻铜箔的速率为几千埃)，是最为理想的高精度时刻方式。; 阅读（183）标签：鑫海森动态